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一体式全自动曝光機

産品特點
一、名称:一体式全自动曝光機 二、型号:BG300 三、设备优点: 1.接触式/非接触式曝光双模式 2. UV LED光源,节能、寿命长、使用成本低,闭环式循环水冷却系统 3. Cycle time 11秒/张(机械时间+真空时间) 4. 省人设计:集成全自动收放板机, 无需套Pin, 拒曝自动暂存 5. 多重自动清潔系統 6. 8CCD自動對位系統

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産品參數

四、設備參數及規格:

項次

序號

項目

規格及技術參數

備注

1

外型尺寸( L*W*H mm)

2600*2050*2000 mm  

2

適用制程

FPC

3

光源類型

UV  LED 平行光

4

曝光方式

雙台面,雙面同時獨立曝光

5

光源排布方式

面陣

6

曝光能量控制

光強任意可調

7

曝光能量檢測

線性多點偵測

選配

8

感光劑

幹膜

9

菲林固定方式

真空吸附

10

基材尺寸

250mm*500mm(最大),

250mm*200mm(最小)

11

菲林尺寸(mm

550  X   280

12

整機重量(KG)

3500kg

13

電源要求

三相五线制 AC380V,50Hz,功率16KW

14

氣源要求(MPa)

0.5MPa  流量50L/Min

15

使用環境

溫度20-24攝氏度;濕度55%+/-15%RH

16

保護功能

LED異常多點報警

17

工作周期

11S(不包含曝光時間/真空時間)

18

光源解析能力

L/S  0.025mm /0.025mm

19

對位精度

±0.01mm

20

圖像處理方式

Mark點識別

21

Mark點大小

菲林3个1mm   防呆1个0.8mm

基材孔3个2.5mm  防呆1个2.3mm

1

電氣配置

PLC+工控機

2

曝光控制系統

2

3

自動對位系統

2

4

清潔系統

多套

5

能量反饋系統

2

6

靜電離子處理器

多套

7

多效過濾系統

1

8

自動水冷系統

1

9

多軸運動系統

1

10

CCD影像系統

多套

11

面陣光源

2

12

對位系統軟件

1


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